เครื่องเคลือบสปินอัตโนมัติ 12 สถานีความแม่นยำสูงสำหรับการเคลือบฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์และเพอรอฟสไกต์แบบกำหนดเอง
เครื่องเคลือบสปินอัตโนมัติ 12 สถานีความแม่นยำสูงสำหรับการเคลือบฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์และเพอรอฟสไกต์แบบกำหนดเอง
เครื่องเคลือบสปินอัตโนมัติ 12 สถานีที่มีความแม่นยำสูงสำหรับการเตรียมฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์และเพอรอฟสไคท์ ภาพรวมผลิตภัณฑ์ เครื่องเคลือบแบบหมุนได้ 12 สถานีนี้ออกแบบมาสำหรับการสะสมฟิล์มบางที่มีปริมาณงานสูงรองรับแผ่นเวเฟอร์ แก้ว และพื้นผิวที่ยืดหยุ่น แต่ละสถานีมีการตั้งค่าความเร็ว ความเร่ง และเวลาการเคลือ...
Place of Origin:จีน
Brand Name:OSMANUV
Certification:ISO9001
Model Number:ข้อมูลจำเพาะ
Minimum Order Quantity:1 ชุด
Price:ต่อรองได้
Product Custom Attributes
เน้น
เครื่องเคลือบสปินอัตโนมัติ 12 สถานี
,เครื่องเคลือบฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์
,อุปกรณ์เคลือบสปินเพอรอฟสไกต์
ความหนาของการเคลือบ:
180ก. ~ 400ก
แบรนด์อินเวอร์เตอร์:
ชไนเดอร์
ทิศทางการลำเลียง:
จากซ้ายไปขวา
ความชื้น:
50 ± 10 ℃
ความแม่นยำในการลงทะเบียน:
± 0.15 มม
รายงานการทดสอบเครื่องจักร:
ที่ให้ไว้
ความเร็วเฉลี่ย:
0 ~ 20 ม./นาที
ความกว้างการเคลือบสูงสุด:
790*1150มม
Product Description
เครื่องเคลือบสปินอัตโนมัติ 12 สถานีที่มีความแม่นยำสูงสำหรับการเตรียมฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์และเพอรอฟสไคท์
ภาพรวมผลิตภัณฑ์
เครื่องเคลือบแบบหมุนได้ 12 สถานีนี้ออกแบบมาสำหรับการสะสมฟิล์มบางที่มีปริมาณงานสูงรองรับแผ่นเวเฟอร์ แก้ว และพื้นผิวที่ยืดหยุ่น แต่ละสถานีมีการตั้งค่าความเร็ว ความเร่ง และเวลาการเคลือบที่เป็นอิสระ โดยมีการควบคุมแบบวงปิดซึ่งมีความแม่นยำ ±1 รอบต่อนาทีจำนวนสถานี วิธีการจ่าย ขนาดห้อง และระบบไอเสีย ทั้งหมดสามารถปรับแต่งได้ทำให้เหมาะสำหรับทั้งการวิจัยและพัฒนาและการผลิตนำร่อง
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| พารามิเตอร์ | ค่า/ช่วง | ตัวเลือกการปรับแต่ง |
|---|---|---|
| จำนวนสถานี | 12 | ปรับแต่งได้: 4 / 8 / 12 / 16 สถานี |
| ช่วงความเร็ว | 100 - 10,000 รอบต่อนาที | ขยายได้ถึง 12,000 รอบต่อนาที |
| ช่วงการเร่งความเร็ว | 50 - 10,000 รอบต่อนาที/วินาที | ปรับแต่งได้ |
| ความแม่นยำของความเร็ว | ±1 รอบต่อนาที | - |
| ขนาดพื้นผิวสูงสุด | เส้นผ่านศูนย์กลาง 150 มม | ปรับแต่งได้สูงสุด 200 มม |
| วัสดุห้อง | สแตนเลส PP / PTFE / 316L | วัสดุสัมผัสที่ปรับแต่งได้ |
| การควบคุมสิ่งแวดล้อม | มีท่อไอเสียและล้าง | โมดูลกำจัด N₂ ที่ปรับแต่งได้ |
| การจัดเก็บโปรแกรม | กว่า 1,000 สูตรอาหาร | - |
| แหล่งจ่ายไฟ | ไฟกระแสสลับ 220V / 50Hz | ปรับแต่งเป็น 110V / 60Hz |
การใช้งาน
- ฟิล์มเซลล์แสงอาทิตย์เพอรอฟสกี้
- การเคลือบด้วยแสง (การพิมพ์หินเซมิคอนดักเตอร์)
- ฟิล์มบางของโซลเจล
- OLED และชั้นเปล่งจุดควอนตัม
- การเคลือบไบโอเซนเซอร์
- ปรับแต่งได้สำหรับพื้นผิวที่ไม่เรียบหรือยืดหยุ่น
ตัวเลือกการปรับแต่ง
- การปรับแต่งระดับระบบและระดับกระบวนการ
- จำนวนสถานี แผนผัง เส้นทางการจ่ายยา
- ขนาดและวัสดุของห้องเพาะเลี้ยง (ทนกรด ทนตัวทำละลาย)
- ระบบทำความสะอาดอัตโนมัติและการกู้คืนตัวทำละลายของเสีย
- เครื่องทำความร้อน / UV / IR โมดูลการบ่มหลังการเคลือบ
- การรวมอินเทอร์เฟซข้อมูล MES/ERP จากโรงงาน
คุณสมบัติที่สำคัญ
- 12 สถานีที่ขับเคลื่อนอย่างอิสระมีมอเตอร์และระบบควบคุมแยกกัน
- ตอบสนองการเร่งความเร็วสูง- ถึงความเร็วที่ตั้งไว้ภายใน <0.5 วินาที
- การเขียนโปรแกรมการจ่ายแบบหลายจุด- รองรับการจ่ายแบบไดนามิก/แบบคงที่
- การป้องกันการปนเปื้อนข้าม- ช่องระบายอากาศแยกอิสระต่อสถานี
- การเรียกคืนสูตรเพียงคลิกเดียวด้วยตัวเลือกการเริ่มต้นการสแกนบาร์โค้ด
- อินเตอร์ล็อคด้านความปลอดภัยที่ปรับแต่งได้และตรรกะ e-stop
การสนับสนุนและบริการ
- การสนับสนุนระยะไกลทั่วโลก (TeamViewer/VPN)
- การติดตั้งและการฝึกอบรมนอกสถานที่ (ไม่บังคับ)
- การให้คำปรึกษาด้านกระบวนการ - การสร้างแบบจำลองความหนืด/ความเร็ว/ความหนา
- สต๊อกอะไหล่ในประเทศ -มีชุดอะไหล่ที่ปรับแต่งได้
- รับประกัน 18 เดือน (ไม่รวมความเสียหายโดยเจตนา)
การบรรจุและการจัดส่ง
- กล่องไม้กันกระแทก (ตามมาตรฐาน ISTA)
- มีตัวบ่งชี้สารดูดความชื้นและความชื้นอยู่ภายใน
- วิธีจัดส่ง: ทะเล / อากาศ / ทางบก -มีใบรับรองการติดฉลากส่งออกและการรมควันที่ปรับแต่งได้
- ระยะเวลาดำเนินการ: 4 สัปดาห์สำหรับรุ่นมาตรฐาน 6-8 สัปดาห์สำหรับรุ่นที่กำหนดเอง
คำถามที่พบบ่อย
Q1: สามารถเคลือบเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้วได้หรือไม่?
A: มาตรฐานสูงสุดคือ 150 มม. -ห้องปรับแต่งได้สูงสุด 200 มม.
คำถามที่ 2: แต่ละสถานีสามารถเรียกใช้สูตรอาหารที่แตกต่างกันพร้อมกันได้หรือไม่
ตอบ: ได้ แต่ละสถานีสามารถตั้งโปรแกรมได้อย่างอิสระ
คำถามที่ 3: รองรับการเคลือบสภาพแวดล้อม N₂ หรือไม่
ตอบ:สามารถปรับแต่งการล้าง N₂ แบบเต็มห้องพร้อมการตรวจติดตามออกซิเจนได้.