|
|
รายละเอียดสินค้า:
|
| ความหนาของการเคลือบ: | 180ก. ~ 400ก | แบรนด์อินเวอร์เตอร์: | ชไนเดอร์ |
|---|---|---|---|
| ทิศทางการลำเลียง: | จากซ้ายไปขวา | ความชื้น: | 50 ± 10 ℃ |
| ความแม่นยำในการลงทะเบียน: | ± 0.15 มม | รายงานการทดสอบเครื่องจักร: | ที่ให้ไว้ |
| ความเร็วเฉลี่ย: | 0 ~ 20 ม./นาที | ความกว้างการเคลือบสูงสุด: | 790*1150มม |
| เน้น: | เครื่องเคลือบสปินอัตโนมัติ 12 สถานี,เครื่องเคลือบฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์,อุปกรณ์เคลือบสปินเพอรอฟสไกต์ |
||
เครื่องเคลือบแบบหมุนได้ 12 สถานีนี้ออกแบบมาสำหรับการสะสมฟิล์มบางที่มีปริมาณงานสูงรองรับแผ่นเวเฟอร์ แก้ว และพื้นผิวที่ยืดหยุ่น แต่ละสถานีมีการตั้งค่าความเร็ว ความเร่ง และเวลาการเคลือบที่เป็นอิสระ โดยมีการควบคุมแบบวงปิดซึ่งมีความแม่นยำ ±1 รอบต่อนาทีจำนวนสถานี วิธีการจ่าย ขนาดห้อง และระบบไอเสีย ทั้งหมดสามารถปรับแต่งได้ทำให้เหมาะสำหรับทั้งการวิจัยและพัฒนาและการผลิตนำร่อง
| พารามิเตอร์ | ค่า/ช่วง | ตัวเลือกการปรับแต่ง |
|---|---|---|
| จำนวนสถานี | 12 | ปรับแต่งได้: 4 / 8 / 12 / 16 สถานี |
| ช่วงความเร็ว | 100 - 10,000 รอบต่อนาที | ขยายได้ถึง 12,000 รอบต่อนาที |
| ช่วงการเร่งความเร็ว | 50 - 10,000 รอบต่อนาที/วินาที | ปรับแต่งได้ |
| ความแม่นยำของความเร็ว | ±1 รอบต่อนาที | - |
| ขนาดพื้นผิวสูงสุด | เส้นผ่านศูนย์กลาง 150 มม | ปรับแต่งได้สูงสุด 200 มม |
| วัสดุห้อง | สแตนเลส PP / PTFE / 316L | วัสดุสัมผัสที่ปรับแต่งได้ |
| การควบคุมสิ่งแวดล้อม | มีท่อไอเสียและล้าง | โมดูลกำจัด N₂ ที่ปรับแต่งได้ |
| การจัดเก็บโปรแกรม | กว่า 1,000 สูตรอาหาร | - |
| แหล่งจ่ายไฟ | ไฟกระแสสลับ 220V / 50Hz | ปรับแต่งเป็น 110V / 60Hz |
ผู้ติดต่อ: Mr. Zhang guoxin
โทร: +86 13926890692
แฟกซ์: 86-769-88120350
Thai
