 
|
เครื่องเคลือบหมุนแบบอัตโนมัติเต็ม 24 สถานที่ พร้อมการจัดสรรและความเร็วหมุนที่สามารถปรับเปลี่ยนได้ เพื่อให้มีความเหมือนกันสูงและการปนเปื้อนข้ามศูนย์
รายละเอียดสินค้า:
| สถานที่กำเนิด: | จีน |
| ชื่อแบรนด์: | OSMANUV |
| ได้รับการรับรอง: | ISO9001 |
| หมายเลขรุ่น: | ข้อมูลจำเพาะ |
การชำระเงิน:
| จำนวนสั่งซื้อขั้นต่ำ: | 1 ชุด |
|---|---|
| ราคา: | ต่อรองได้ |
| รายละเอียดการบรรจุ: | บรรจุภัณฑ์ไม้ |
| เวลาการส่งมอบ: | 30 วัน |
| สามารถในการผลิต: | การเจรจาต่อรอง |
|
ข้อมูลรายละเอียด |
|||
| ความทนทานของการเคลือบ: | มีความทนทานสูง | แหล่งกำเนิดแสง: | IR Light |
|---|---|---|---|
| การใช้งาน: | เครื่องพิมพ์กระดาษ เครื่องพิมพ์ฉลาก เครื่องพิมพ์บัตร | ความหนาของการเคลือบ: | ปรับได้ |
| แบบอย่าง: | โอเอสเอ็ม-XT-450T | กำลังการผลิต: | 4800pcs/8h |
| จุดขายที่สำคัญ: | การเคลือบผงผง | พลังการทำงาน: | 2.4kW |
| เน้น: | เครื่องเคลือบหมุนแบบอัตโนมัติเต็ม,เครื่องเคลือบปลอมปลอม 24 สถานะ,เครื่องปรับระบาย Spin Coater |
||
รายละเอียดสินค้า
โปรเซสเซอร์ 24 สปิน อัตโนมัติเต็ม สําหรับการวิจัยและพัฒนา เพื่อการผลิต
นี่เครื่องเคลือบหมุน 24 สถานะได้ถูกออกแบบมาเพื่อการฝากแผ่นบางแบบอัตโนมัติและมีผลงานสูง แต่ละตําแหน่งการเคลือบที่อิสระ 24 สามารถบรรจุกับพื้นฐานขนาดกว้างถึง 200 มม (หรือ 156 × 156 มมสี่)ระบบจะรวดเรื่อย ๆ จบการจัดสรร, การเร่งรัด, จับหมุน, และขอบ-ขีดการกําจัดขั้นตอนผ่านข้อมูลสูตรที่สามารถปรับแต่งได้.
ข้อดีสําคัญ
- ไม่ติดเชื้อข้าม- กระปุกและอุปกรณ์ระบายอากาศส่วนตัวสําหรับแต่ละสถานี
- ความเหมือนกันสูง< ± 3% ในระยะ 3000 รอบ / นาทีในทุกสถานี
- การปรับแต่งเต็ม- วัสดุพื้นฐาน (Si, กระจก, โพลิเมอร์, โลหะ) การล้างก๊าซ (N2, อากาศแห้งสะอาด) และขั้นตอนล้างหลังการหมุน
ปริมาตรเทคนิค
| ปริมาตร | ค่าธรรมดา | ระยะที่สามารถปรับแต่งได้ |
|---|---|---|
| จํานวนสถานี | 24 | 12 / 16 / 24 / 32 (สามารถปรับแต่ง) |
| ขนาดของพื้นฐานสูงสุด | กว้าง 200 มิลลิเมตรหรือตาราง 156 × 156 มิลลิเมตร | 50 - 300 มิลลิเมตร (ชัคที่สามารถปรับแต่งได้) |
| ระยะความเร็วหมุน | 0 - 6000 รอบ / นาที | 0 - 10000 รอบ / นาที |
| ความแม่นยําของความเร็ว | ± 1 รอบ / นาที | -- |
| ความเร่งหมุน | 200 - 10000 รอบ/วินาที | สามารถปรับแต่งได้สูงสุด 20000 รอบ/วินาที/วินาที |
| ความเหมือนกันของผิวเคลือบ | < ± 3% @ 3000 รอบ / นาที | ± 2% สามารถใช้ได้ |
| ก๊าซกระบวนการ | 1 ช่องทาง (N2) | 2 - 4 ช่องทางก๊าซ (สามารถปรับแต่ง) |
| ประเภทการจ่ายเงิน | สแตติก / ไดนามิก | สูงสุด 3 ขั้นตอนในการจัดสรรในแต่ละสูตร |
| การไหลของก๊าซออกต่อสถานี | 45 m3/h | 30 - 80 m3/h (สามารถปรับแต่ง) |
| สิ่งแวดล้อม | สอดคล้องกับห้องสะอาดชั้น 10 | คลาส 1 |
| พลังงานไฟฟ้า | 400V / 50 Hz / 3P | 208V - 480V (สามารถปรับแต่ง) |
| ขนาดของเครื่อง (W × D × H) | 2100 × 1200 × 1900 มิลลิเมตร | ความกว้าง/ความลึกสามารถปรับแต่งได้ |
การบูรณาการสายผลิต
เมื่อรวมเข้ากับสายเคลือบ, เครื่องเคลือบหมุน 24 สถานที่มักทํางานกับ:
- เครื่องบรรทุก/บรรทุก(จากนิตยสารไปยังนิตยสาร หรือจากแคสเทปไปยังแคสเทป)อินเตอร์เฟซที่สามารถปรับแต่งได้
- สถานีการปรับปรุงล่วงหน้า- ปรับขอบ / ขอบเป็นตัวเลือก
- เครื่องเคลือบหมุน 24 สถานะ- หน่วยหลัก
- เครื่องถอดขีดขีดขีดขีด (EBR)- สถานีรวมหรือแยก
- ผงผัดหลังเคลือบ- hotplate หรือ IR (โปรแกรมได้)
- สถานที่เย็น- มีกิจกรรมหรือไม่มีกิจกรรม
- ระบบส่งสารเคมีกลาง- 1-12 กระป๋อง พร้อมเครื่องเต็มออโต้
- ระบบการฟื้นฟูก๊าซออกและสารละลาย- สามารถปรับปรุงได้สําหรับ photoresist, PI, PMMA เป็นต้น
การใช้งาน
- โครงการประกอบการ- การเคลือบกันแสง (i-line, KrF, ArF)
- เซลล์แสงอาทิตย์เพโรฟสกิต- การฝากแบบเรียบร้อยในพื้นที่ใหญ่
- OLED / QLED- ชั้นฉีดหลุม/ชั้นขนส่ง
- MEMS และ microfluidics- SU-8, PDMS, พอลิเมอร์เคลือบ
- R & D & เส้นทางทดลอง- การพัฒนากระบวนการหลายสับสราต
- ผืนแก้ว / sapphire / เซรามิค- พื้นที่เรียบ
- แบตเตอรี่ลิเดียม- การเคลือบสับบนเครื่องแยกหรืออิเล็กทรอนด์
ตัวเลือกการปรับแต่ง
นี่สปินโคเตอร์ 24 สเตชั่นสามารถปรับแต่งได้มากในด้านต่อไปนี้
- ขนาดและรูปร่างของสับสราท- รอบ, ตาราง, สี่เหลี่ยม, หรือตัดตามความต้องการ
- การออกแบบ Chuck- วัคูม เครื่องจับกลไก หรือชัคไฟฟ้าสแตตติก
- วัสดุของถ้วย- PP, PVDF, PTFE หรือสแตนเลส (สําหรับสารละลายรุนแรง)
- เครื่องฉายน้ํา- ปริมาณสูงสุด 3 ช่องระบายน้ําอิสระต่อสถานีการเคลื่อนไหว XY ที่สามารถปรับเปลี่ยนได้
- ก๊าซกระบวนการ- N2, อากาศแห้งสะอาด, Ar, หรือการสร้างก๊าซ
- ล้างด้านหลัง & การกําจัดขอบข้อมือ- โปรแกรมได้
- ห้องสมุดสูตร- ที่เก็บของไม่จํากัดสําหรับ 1000+ สูตรสูตรตามสั่ง
- อินเตอร์เฟซ- SMEMA, SECS/GEM, OPC-UA หรือ Modbus TCP
- ความปลอดภัย- การปรับแต่งกันระเบิดสําหรับสารละลายที่เผาไหม้
ลักษณะสําคัญ
- การติดตามสถานีอิสระ- ทุกสถานีติดตามแนวโน้มความหนาของฟิล์มและประวัติการเตือน
- การล็อคปิดปิด- ป้องกันการใช้งานเมื่อปิดจานเปิด
- เครื่องจับน้ําหยดของสารละลาย- ลดความถี่ในการบํารุงรักษา
- ดาวน์โหลดสูตรไว- < 1 วินาทีเพื่อเปลี่ยนทุก 24 สถานี
- การบันทึกข้อมูล- CSV การส่งออกต่อสถานี (ความเร็วหมุน vs เวลา)
- การออกแบบความสั่นต่ํา- < 0.5 μm/s2 ในความเร็วสูงสุด
- โหมดประหยัดพลังงาน- ปริมาณการหมุนของอากาศที่ลดลงโดยอัตโนมัติเมื่อทํางานเฉย ๆ
การสนับสนุนและบริการ
- การแนะนําการติดตั้งทางไกล- รวมการตั้งค่าการโทรวีดีโอ
- การสนับสนุนทางเทคนิค 24/7- ทีมวิศวกรรมที่คอยดูแล (ภาษาอังกฤษ/ภาษาจีน)
- การฝึกอบรมในสถานที่- โดยเลือก (3 วัน)
- การรับประกัน 12 เดือน- สามารถขยายไปถึง 36 เดือน
- ความพร้อมของอะไหล่- รับประกัน 5 ปี
- การสนับสนุนการพัฒนากระบวนการ- การปรับปรุงสูตรฟรีสําหรับวัสดุของคุณ
การบรรจุและการขนส่ง
| รายการ | วิธีการ |
|---|---|
| การบรรจุ | หม้อปรับปรุงความหนาแน่น |
| ระยะเวลาการส่ง | FOB / CIF / DDP (เลือกตามราคา) |
| ระยะเวลา | 45 - 60 วันทําการ (ตามความต้องการ: +15 วัน) |
| การขนส่ง | คอนเทนเนอร์ HC ขนาด 40' (1 หน่วยต่อคอนเทนเนอร์) หรือการขนส่งทางอากาศสําหรับการสั่งซื้อเร่งด่วน |
| เอกสาร | ใบแสดงสินค้า รายการบรรจุ สัญญา CE คู่มือการใช้งาน (ดิจิทัล + พิมพ์) |
คํา ถาม ที่ ถาม บ่อย
Q1: สามารถเคลือบพื้นฐานที่แตกต่างกันได้พร้อมกันในสถานีที่แตกต่างกัน?
ตอบ: ครับ ทุกสถานีทํางานเป็นอิสระ เช่น สถานี 1-6 สามารถเคลือบโวฟเวอร์ขนาด 4 นิ้ว ส่วนสถานี 7-12 สามารถเคลือบโวฟเวอร์ขนาด 6 นิ้วสามารถปรับแต่งได้อย่างเต็มที่.
Q2: เครื่องรองรับวัสดุ viscosity สูง (> 1000 cP)
ตอบ: ใช่ เราให้บริการสามารถปรับแต่งได้มอเตอร์หมุนที่ใช้สปินช้าและมอเตอร์หมุนสูง (สูงสุด 1.5 N*m) สําหรับฟอตเรสติสต์หนาหรือโพลีไมมิด
คําถามที่ 3: ใช้เวลาเท่าไหร่ในการเปลี่ยนจากไฟฟ้ากันแสงหนึ่งเป็นไฟฟ้ากันแสงอีกตัว
A: ด้วยตัวเลือกการออกแบบถังที่สามารถทําความสะอาดได้อย่างรวดเร็ว, การเปลี่ยน < 10 นาทีต่อสถานี
ต้องการทราบรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์นี้
