ระบบประมวลผลเลเซอร์ Excimer อุตสาหกรรม | บูรณาการสายการผลิตที่ยืดหยุ่นและพารามิเตอร์ที่ปรับแต่งได้อย่างเต็มที่
ระบบแปรรูปเลเซอร์ excimer อุตสาหกรรม
,สายการผลิตเลเซอร์เอ็กซิมเมอร์แบบยืดหยุ่น
,ปริมาตรเครื่องเคลือบ UV ที่สามารถปรับแต่งได้
ระบบการประมวลผลด้วยเลเซอร์เอ็กไซเมอร์ทางอุตสาหกรรมนี้ได้รับการออกแบบสำหรับการผลิตไมโครแฟบริเคชั่นที่มีความแม่นยำสูง การอบอ่อนสารกึ่งตัวนำ และการสร้างลวดลายฟิล์มบาง รองรับการบูรณาการเข้ากับสายการผลิตอัตโนมัติอย่างเต็มรูปแบบพร้อมการตรวจสอบแบบเรียลไทม์ ระบบนี้มีแหล่งกำเนิด excimer ปิดผนึกด้วยแก๊ส พร้อมด้วยระบบออปติกที่มีอายุการใช้งานยาวนานและการควบคุมกระบวนการที่อาศัยความช่วยเหลือจาก AI
- เครื่องกำเนิดเลเซอร์ Excimer
- โมดูลการสร้างลำแสงและการทำให้เป็นเนื้อเดียวกัน
- เวทีการสแกน XY ความเร็วสูงหรือยูนิตการฉายภาพแบบมาส์ก
- หุ่นยนต์จัดการวัสดุพิมพ์แบบอินไลน์ (ความกว้างของแทร็กที่ปรับแต่งได้)
- ระบบการจัดการไอเสียและก๊าซ
- พีซีควบคุมกระบวนการพร้อมตัวจัดการสูตร
| พารามิเตอร์ | ช่วงค่า (มาตรฐาน) | ตัวเลือกการปรับแต่ง |
|---|---|---|
| ความยาวคลื่น | 193 นาโนเมตร / 248 นาโนเมตร / 308 นาโนเมตร | สลับความยาวคลื่นได้หลายแบบ (กำหนดเอง) |
| พลังงานชีพจรสูงสุด | 0.5 - 1200 เมกะจูล | สูงถึง 2,000 mJ (กำหนดเอง) |
| ความถี่พัลส์ | 1 - 6,000 เฮิรตซ์ | สูงสุด 10 kHz (กำหนดเอง) |
| กำลังเฉลี่ย | 5 - 300 วัตต์ | มีการปรับขนาดแบบกำหนดเอง |
| ขนาดลำแสง (ออก) | 10 × 10 มม | ลำแสงสี่เหลี่ยมสูงถึง 50×50 มม. (กำหนดเอง) |
| ความสม่ำเสมอของลำแสง | < ±3% (σ) | < ±1% (เลนส์แบบกำหนดเอง) |
| บูรณาการสายการผลิต | SMEMA / วินาที/อัญมณี | โปรโตคอล PLC แบบกำหนดเอง (กำหนดเอง) |
- การหลอมซิลิคอนสำหรับจอแสดงผลขั้นสูง (LTPS)
- MEMS และเซมิคอนดักเตอร์เวเฟอร์หั่นสี่เหลี่ยมลูกเต๋า
- การกระตุ้นพื้นผิวโพลีเมอร์
- โครงสร้างจุลภาคของอุปกรณ์การแพทย์
- การเจาะ PCB แบบยืดหยุ่น
เรานำเสนอการปรับแต่งเต็มรูปแบบการเลือกความยาวคลื่น พลังงานพัลส์ ขนาดสนามการสแกน ส่วนผสมของก๊าซ วิธีการทำความเย็น (อากาศ/น้ำ/เครื่องทำความเย็น) และวิธีการสื่อสารในสายการผลิต แขนส่งลำแสงที่ปรับแต่งได้และกล่องหุ้มคลาส 1 ก็มีให้ตามคำขอ
- > อายุการใช้งานของก๊าซ > 2000 ชั่วโมง (ส่วนผสมของก๊าซที่เหมาะสมที่สุด)
- เสถียรภาพพลังงานในตัว (ตอบรับแบบเรียลไทม์)
- การวินิจฉัยระยะไกลและการบำรุงรักษาเชิงคาดการณ์
- ต้นทุนการเป็นเจ้าของต่ำ (LOO) พร้อมโหมดประหยัดน้ำมันบายพาส
- การออกแบบโมดูลาร์ขนาดกะทัดรัดเพื่อการกำหนดค่าไลน์ใหม่อย่างรวดเร็ว
- การสนับสนุนด้านเทคนิคตลอด 24 ชั่วโมงทุกวัน (โทรศัพท์/ระยะไกล)
- การติดตั้งนอกสถานที่และการบูรณาการสายการผลิต
- การฝึกอบรมแบบกำหนดเองสำหรับวิศวกรของคุณ
- ขยายการรับประกันสูงสุด 5 ปี
- โปรแกรมเติมแก๊สและตกแต่งเลนส์ใหม่
- ปิดผนึกในภาชนะควบคุมความชื้นและกันกระแทก
- กล่องเลนส์ปิดผนึกสูญญากาศ
- จัดส่งทางอากาศหรือทางทะเลพร้อมการติดตามแบบเรียลไทม์
- ลังส่งออกเป็นไปตามมาตรฐาน ISPM-15