ระบบเคลือบหมุนสองหัวอุตสาหกรรมสําหรับการผลิตที่มีความเร็วสูง การออกแบบ Chuck ที่สามารถปรับแต่งได้ และการจัดส่งอัตโนมัติ
ระบบเคลือบหมุนหัวสองแบบอุตสาหกรรม
,ชัคสปินโคตเกอร์ปรับแต่ง
,เครื่องพิมพ์ผงผงแบบอัตโนมัติ
นี้เครื่องเคลือบสปินแบบ dual-station ที่ปรับแต่งได้ได้รับการออกแบบมาเพื่อการสะสมฟิล์มบางที่มีปริมาณงานสูงบนพื้นผิว เช่น แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน แก้ว และฟิล์มโพลีเมอร์ มีจำหน่ายในวิจัย,ห้องสะอาด, และการผลิตภาคอุตสาหกรรมการกำหนดค่า ระบบก็คือปรับแต่งได้เต็มที่ขนาดหัวจับ ช่วงความเร็วการหมุน จำนวนขั้นตอนของโปรแกรม และวิธีการจ่าย สถานีแยกกันสองสถานีอนุญาตให้ทำงานพร้อมกันหรือสลับกัน สถานีหนึ่งสามารถเคลือบได้ในขณะที่อีกสถานีหนึ่งกำลังขนถ่าย/ขนถ่าย ช่วยเพิ่มผลผลิตได้อย่างมาก เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเคลือบไวแสง การสะสมของโซลเจล และการใช้งานชั้นกั้นในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ MEMS ออพติก และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่พิมพ์ออกมา
| พารามิเตอร์ | รูปแบบการวิจัยความเร็วสูง | โมเดลรวมคลีนรูม | รูปแบบการผลิตภาคอุตสาหกรรม |
|---|---|---|---|
| จำนวนสถานี | 2 อิสระ | 2 อิสระ | 2 อิสระ (หรือปรับแต่งได้ถึง 4) |
| ช่วงความเร็วในการหมุน | 300 - 10,000 รอบต่อนาที | 500 - 8,000 รอบต่อนาที | 100 - 3,000 รอบต่อนาที (ปรับแต่งได้สูงสุด 15,000) |
| ความแม่นยำของความเร็ว | ±1 รอบต่อนาที | ±3% | ±1 รอบต่อนาที (เซอร์โว) |
| การควบคุมการเร่งความเร็ว | ตั้งโปรแกรมได้หลายขั้นตอน | มีการควบคุม PID | ตั้งโปรแกรมได้หลายขั้นตอน |
| ขนาดพื้นผิว (ปรับแต่งได้) | สูงสุด 200 มม. (8") ต่อสถานี | สูงสุด 300 มม. (12 นิ้ว) ต่อสถานี | สูงสุด 450 มม. (18") - ปรับแต่งได้ |
| ขั้นตอนที่ตั้งโปรแกรมได้ | 10 ก้าวต่อสถานี | 5 ขั้นตอนต่อสถานี | ตามสูตร (ไม่จำกัด) |
| ระบบสุญญากาศ | ปั๊มอิสระต่อสถานี | แชร์ + โซลินอยด์วาล์ว | ปั๊มไหลสูงอิสระ |
| ระดับความสะอาด (ไม่จำเป็น) | ไม่มี | คลาส 100 (เฟดมาตรฐาน 209E) | คลาส 1,000 หรือปรับแต่งได้ |
| วัสดุสิ่งที่แนบมา | สแตนเลส/เทฟลอน | สแตนเลส + ป้องกันการกัดกร่อน | เคลือบทนสารเคมี |
| ระบบจ่ายยา | เข็มฉีดยา / หัวฉีดแบบแมนนวล | ปั๊มสูบจ่ายกึ่งอัตโนมัติ | การจ่ายสารอัตโนมัติที่ขับเคลื่อนด้วยเซอร์โว |
| อินเทอร์เฟซ | หน้าจอสัมผัสขนาด 7 นิ้วต่อสถานี | หน้าจอสัมผัสคู่ | PLC + HMI พร้อมการบันทึกข้อมูล |
| แหล่งจ่ายไฟ | ไฟฟ้ากระแสสลับ 110/220V, 50/60Hz | ไฟฟ้ากระแสสลับ 220V, 50/60Hz | AC 380V, 50/60Hz (ปรับแต่งได้) |
| ขนาด | ~700×400×300 มม | 650×750×1620 มม | ปรับแต่งได้ |
| น้ำหนัก | ~28กก | ~120กก | ปรับแต่งได้ |
- เซมิคอนดักเตอร์: การเคลือบโฟโตรีซิสบนเวเฟอร์ซิลิคอน, อุปกรณ์ MEMS
- ออปโตอิเล็กทรอนิกส์: การสะสมฟิล์มบางสำหรับ LED, โซล่าเซลล์, จอแบน
- วัสดุศาสตร์: สารเคลือบโซลเจล โพลีเมอร์ และนาโนคอมโพสิต
- ชีวการแพทย์: การผลิตไบโอเซนเซอร์และอุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก
- อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่พิมพ์ออกมา: การสะสมของหมึกนำไฟฟ้าบนพื้นผิวที่ยืดหยุ่น
- บรรจุภัณฑ์: เคลือบ Barrier บนภาชนะบรรจุอาหารและผลิตภัณฑ์กระดาษ
เครื่องเคลือบแบบหมุนสองสถานีนี้คือปรับแต่งได้สูงเพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดการใช้งานเฉพาะของคุณ:
- การออกแบบและขนาดของหัวจับ: หัวจับสุญญากาศที่สั่งทำพิเศษสำหรับพื้นผิวตั้งแต่ 10 มม. ถึง 450 มม
- ช่วงความเร็วในการหมุน: ขยายได้สูงสุด 15,000 รอบต่อนาทีสำหรับการใช้งานฟิล์มบางพิเศษ
- จำนวนสถานี: ขยายได้ถึง 3 หรือ 4 สถานีสำหรับการประมวลผลแบบหลายชุด
- ระบบจ่ายยา: แบบแมนนวล แบบกึ่งอัตโนมัติ หรือแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบด้วยปั๊มที่ควบคุมด้วยเซอร์โว
- การควบคุมสิ่งแวดล้อม: ห้องคลีนรูม (Class 10-100,000), ไล่ก๊าซเฉื่อย, ควบคุมความชื้น
- บูรณาการความร้อน: จานร้อนในตัว (สูงถึง 300°C) หรือโมดูลการบ่มด้วยรังสียูวี
- ระบบอัตโนมัติ: การขนถ่ายด้วยหุ่นยนต์, การบูรณาการสายพานลำเลียง, การประมวลผลเป็นชุด
- วัสดุสิ่งที่แนบมา: การออกแบบ PTFE ที่ทนต่อตัวทำละลาย สแตนเลส หรือป้องกันการระเบิด
- การประมวลผลแบบขนาน: สองสถานีทำงานแยกกัน - เคลือบและโหลดพร้อมกัน เพิ่มปริมาณงานเป็นสองเท่าเทียบกับยูนิตสถานีเดียว
- การควบคุมสูตรที่เป็นอิสระ: แต่ละสถานีใช้วัสดุหรือพารามิเตอร์การหมุนที่แตกต่างกันไปพร้อมๆ กัน
- มีความแม่นยำสูง: DC แบบไร้แปรงถ่านหรือเซอร์โวมอเตอร์ที่มีความเสถียร ±1 rpm เพื่อความสม่ำเสมอที่ยอดเยี่ยม
- ห้องทนสารเคมี: โครงสร้างสเตนเลสสตีลพร้อมการเคลือบทนตัวทำละลายเพื่อให้เข้ากันได้กับห้องคลีนรูม
- ลูกโซ่ความปลอดภัย: ฝาล็อคและหยุดฉุกเฉินในแต่ละสถานี
- การติดตามข้อมูล: การจัดเก็บสูตร, การตรวจสอบแบบเรียลไทม์, การส่งออก USB/Ethernet (อุปกรณ์เสริม)
- การบำรุงรักษาต่ำ: การออกแบบที่ปราศจากการสั่นสะเทือนพร้อมแบริ่งที่ปิดสนิท
- ให้คำปรึกษาด้านกระบวนการและการทดสอบวัสดุฟรี (ส่งวัสดุพิมพ์ของคุณมาให้เรา)
- การติดตั้ง การสอบเทียบ และการฝึกอบรมผู้ปฏิบัติงานนอกสถานที่
- รับประกันส่วนประกอบทั้งหมด 12 เดือน การสนับสนุนทางเทคนิคตลอดอายุการใช้งาน
- ความพร้อมใช้งานของอะไหล่ (หัวจับ ปั๊ม มอเตอร์) ภายใน 48 ชั่วโมง
- การแก้ไขปัญหาระยะไกลผ่านแฮงเอาท์วิดีโอหรือการตรวจสอบ IoT (ปรับแต่งได้)
- การบรรจุ: โฟมป้องกันไฟฟ้าสถิตย์ + กล่องไม้อัดเสริมแรง (มีสารดูดความชื้นสำหรับส่วนประกอบที่ไวต่อความชื้น)
- การส่งสินค้า: FOB เซี่ยงไฮ้ / CIF ทางทะเล อากาศ หรือทางรถไฟ ระยะเวลาดำเนินการ: 15-30 วันหลังจากการยืนยันการปรับแต่ง (นานกว่าสำหรับหัวจับแบบกำหนดเองหรือการรวมระบบอัตโนมัติ)
ตอบ: เครื่องจักรแบบสถานีคู่ใช้ระบบควบคุมและฐานเครื่องร่วมกัน ในขณะที่ผู้ปฏิบัติงานรายหนึ่งโหลด/ขนถ่ายสถานีหนึ่ง ในขณะที่อีกเครื่องกำลังเคลือบ ช่วยลดเวลาไม่ได้ใช้งาน ส่งผลให้การลงทุนโดยรวมลดลง พื้นที่ห้องปฏิบัติการน้อยลง และปริมาณงานที่สูงขึ้น
ก. ใช่. แต่ละสถานีมีการควบคุมที่ตั้งโปรแกรมได้อย่างอิสระ ช่วยให้คุณสามารถเคลือบวัสดุหรือขนาดพื้นผิวที่แตกต่างกันได้ในเวลาเดียวกัน โดยไม่มีการปนเปื้อนข้าม
A: Chucks คือปรับแต่งได้ขึ้นอยู่กับขนาดและวัสดุของพื้นผิวของคุณ เรามีหัวจับมาตรฐานสำหรับเวเฟอร์ทรงกลม (2"-12") และหัวจับกลึงแบบกำหนดเองสำหรับพื้นผิวสี่เหลี่ยมจัตุรัส สี่เหลี่ยม หรือพื้นผิวที่ไม่เรียบ